半導體前道設備-首頁_愛立特微電子有限公司

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半導體前道設備

手動/半自動曝光機全自動曝光機無掩膜光刻機實驗型光刻機勻膠/顯影設備等離子刻蝕量產型等離子切割量產型 PVD系統量產型 PECVD系統量產型 ICP 研發及小批量 RIE 研發及小批量 PECVD 研發及小批量 ALD 原子層沉積 IBE/IBD 離子束刻蝕/沉積 XeF2 Release Etch HF Vapor Release Etch 氧化擴散爐 CMP研磨拋光系統等離子去膠機機械劃片機激光劃片機

半導體后道設備

全自動球焊機全自動楔焊機全自動粘片機半自動手動引線鍵合機半自動手動粘片機拉力剪切力測試儀等離子清洗機激光調阻設備激光打標系統真空燒結爐平行封焊機

半導體檢測設備

臺階儀 (探針式) 原子力顯微鏡納米壓痕測試儀 3D光學測量系統晶圓薄膜應力測試儀晶圓幾何特性測試儀掃描電鏡 SEM 聚焦離子束 FIB MEMS動靜態激光測振系統真空 (變溫) 探針臺手動半自動 (變溫) 探針臺雙面測試探針臺飛針測試機氦質譜檢漏儀 PIND顆粒噪聲測試儀非接觸影像測量儀自動光學檢測系統 AOI X光檢測系統拉力剪切力測試儀

半導體表貼設備

點膠機器人旋轉點膠系統絲印機表面貼裝設備無鉛回流爐超聲氣相清洗機波峰焊

半導體配件耗材

化學源液輸送系統尾氣處理系統主動隔震臺電磁屏蔽系統超低溫冰柜

半導體前道設備

無論是研發還是量產，在光刻、刻蝕、沉積、研磨等不同應用愛立特都有和國際半導體設備廠商合作。相關設備都廣泛應用于MEMS、先進封裝、功率半導體、LED制造、RF集成電路等領域。

在為客戶提供合適選型的同時，我們也專注于提供有效的工藝支持，盡可能的與客戶分享我們的工藝經驗。

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